適用于氧化亞硅等可氣相沉積材料大批量生產(chǎn);溫差控制精度高,高溫高真空;具備高真空升華,反應,脫脂,脫水,氣相沉積材料自動(dòng)研磨刮料,爐內收集等特殊工藝能力。
全程全封閉全自動(dòng)化作業(yè),避免粉塵飛揚,生產(chǎn)現場(chǎng)環(huán)境整潔干凈。
溫度控制1500度以?xún)?,升溫速率快?/span>
設備特點(diǎn):
一次裝料量大, 生產(chǎn)效率高。全程全封閉全自動(dòng)化作業(yè),避免粉塵飛揚,生產(chǎn)現場(chǎng)環(huán)境整潔干凈。
溫度控制1500度以?xún)?,升溫速率快?/span>
可以在真空度下保持穩定運行工作。
設備參數: